여기에 기계

SOLAR CELL 제조장비 본문

환경설비/에너지

SOLAR CELL 제조장비

여기에 2014. 10. 1. 14:23
제품코드G046431[G046431] SOLAR CELL 제조장비
판매 회사명에스에프에이
연락처031-379-7412
홈페이지-
제품홍보관http://blog.yeogie.com/sfaeng
SOLAR CELL 제조장비

기능 소개

고효율 대면적 태양전지 제조용 스퍼터 장비로서 광흡수층, 투명전극,
후면전극 등을 증착하는 인라인 형태의 스퍼터

특징 소개

- 기판 Size 1100X1400mm (5세대급) 대응
- 고효율 Target Efficiency의 Magnetron Cathode 채용
(Scanning Type, Rotatable Type)
- 고속 기판 이송 속도를 통한 생산성 향상

담당자

공정장비영업2팀 정인수 과장
041-539-8627
jis@sfa.co.kr


응용분야

  • Si 태양전지의 전면전극 및 후면전극 증착
  • CIGS 태양전지의 광흡수층 및 전면/후면 전극 증착

  • 사용된 기술 

  • 플라즈마 제어 기술
  • 고진공 관련 (흡기/배기) 기술
  • 기판 고속 이송 기술
  • 열 유동 제어 기술
  • 전자기장 해석 기술

  • 용도

  • 태양전지의 광흡수층 (CIGS), 투명전극 (TCO), 후면전극 (Ti, Ag, Mo..) 등을
    증착하는 장치

  • 제품 Spec

  • - 기판 Size : 1100X1400mm
    - Tact Time : ≤ 45sec/substrate
    - Target Efficiency : ≥ 40% (Scanning), ≥ 70% (Rotatable)
    - Film Uniformity : ≤ ±5%
    - Temperature Uniformity : ≤ 10℃ 
  • Comments