MODEL 3660 시리즈는 콤팩트한 설계와 저가격을 메인 테마로 한 매스 플로우 콘트롤러이다.
대학, 연구소의 연구 개발 용도를 시작으로 각종 분석기기, 진공장치의 표준채용기기로써 다량의 실적을 보유하고 있으며 다양한 파생 기종과 옵션을 갖추고 있다.
개량형 정전류 온도차 검출 방식의 유량 센서를 탑재해서 고속 응답을 실현했다.
MODEL 3660 시리즈는 콤팩트한 설계와 저가격을 메인 테마로 한 매스 플로우 콘트롤러이다.
대학, 연구소의 연구 개발 용도를 시작으로 각종 분석기기, 진공장치의 표준채용기기로써 다량의 실적을 보유하고 있으며 다양한 파생 기종과 옵션을 갖추고 있다.
개량형 정전류 온도차 검출 방식의 유량 센서를 탑재해서 고속 응답을 실현했다.
- 개량형 정전류 온도차 검출 방식의 유량 센서를 탑재해서 고속 응답을 실현
- 안전 방향 작동의 normally closed valve를 채용
- Solenoid actuator로 고신뢰성을 확보
- 연소 가스 제어용의 저차압 사양(LP 옵션)
![]() | Flow range | F.S. 50 to 500 SCCM, 1 to 5 SLM | (on N2 conversion basis) | F.S.10 to 20SLM | Valve type* | Normally closed, solenoid, poppet valve | Control range* | 2 to 100%F.S. | Response | 2 sec. or less (within ± 2%, typical) for 0 to 100% | Accuracy | within ±1.5% F.S | Repeatability* | within ±0.5% F.S. | Operating differential pressure | F.S. ≤ 5SLM 49 to 294kPa
* Varies depending on LP (low differential pressure) specification gas and amount of flow.
5 〈 F.S. ≤ 20SLM 98 to 294kPa | Pressure resistance* | 980 kPa | Leak rate* | 1 × 10-8 Pa·㎥ / second or less | Operating temperature | 5 to 45℃ (accuracy guarantee: 15 to 35℃) | Gas contact materials | Body: SUS316L
Valve seat: Viton TM (option: Noeprene TM)
Seal material: Viton TM (option: Noeprene TM) | Coupler* | Standard: 1/4SWL
Options: 1/8SWL, 1/4VCRTM, 1/4RC, and others | Electrical connection* | D-sub 9-pin male, KFC standard (compliance with SEMI standard) | Flow setting input signal | 0 to 5 VDC | Flow output signal* | 0 to 5 VDC | Power supply required* | +15 VDC (± 5%) 100 mA, -15 VDC (± 5%) 200 mA |
| Pin Assignment of Dsub 9-pin Connector per KFC Standard | Pin No. | Signal | Pin No. | Signal | 1 | Input valve operation | 6 | Flow input Hi | 2 | Flow output 0-5V | 7 | Flow output COM | 3 | +15VDC Power Source | 8 | Flow input Lo | 4 | Power Source COM | 9 | Output Valve Voltage | 5 | -15VDC Power Source | | |
* Because a differential input system is used for the productm pin 4(Power source COM) and pin 7 (Flow output COM)are connected inside the mass flow controller while pin 8(Flow Input Lo) is isolated. In case of a single-ended connection, connect pin 8 to pin 4.
* Values indicated()denote the specifications for Model 3665.
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