SOLAR CELL 제조장비

제품코드	G046431
판매 회사명	에스에프에이
연락처	031-379-7412
홈페이지	-
제품홍보관	http://blog.yeogie.com/sfaeng

고효율 대면적 태양전지 제조용 스퍼터 장비로서 광흡수층, 투명전극, 후면전극 등을 증착하는 인라인 형태의 스퍼터
- 기판 Size 1100X1400mm (5세대급) 대응 - 고효율 Target Efficiency의 Magnetron Cathode 채용 (Scanning Type, Rotatable Type) - 고속 기판 이송 속도를 통한 생산성 향상
공정장비영업2팀 정인수 과장 041-539-8627 jis@sfa.co.kr Si 태양전지의 전면전극 및 후면전극 증착 CIGS 태양전지의 광흡수층 및 전면/후면 전극 증착   플라즈마 제어 기술 고진공 관련 (흡기/배기) 기술 기판 고속 이송 기술 열 유동 제어 기술 전자기장 해석 기술 태양전지의 광흡수층 (CIGS), 투명전극 (TCO), 후면전극 (Ti, Ag, Mo..) 등을 증착하는 장치 - 기판 Size : 1100X1400mm - Tact Time : ≤ 45sec/substrate - Target Efficiency : ≥ 40% (Scanning), ≥ 70% (Rotatable) - Film Uniformity : ≤ ±5% - Temperature Uniformity : ≤ 10℃

※ 출처 : 여기에 기계플라자 - [G046431] SOLAR CELL 제조장비