반도체장비용밸브

제품코드	G048134
판매 회사명	태광유공압
연락처	02-896-6082
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*반도체장비등에 사용되는 솔레노이드밸브입니다.
*동종 제품과 비교하여 큰 유효직경을 가지고 있습니다.
*동종 제품과 비교하여 빠른 응답속도를 자랑합니다.
*50,000,000회 이상 사용가능한 장수명의 솔레노이드 밸브입니다.
*단지 0.6W만 필요한 저-전력형 솔레노이드 밸브입니다.

모델.	포트경	유효단면적(㎟)	Cv 치	사용온도(℃)	사용압력MPa(kgf/㎠)	Max. frequency (cycle/min)	Response time(s)
							ON	OFF
A05RS25	M5	4	0.22	-5~50	0.15~0.7(1.5~7.1)	600	0.010	0.010
A05RD25					0.1~0.7(1~7.1)		0.010	-
A05RD35		3.7	0.2		0.2~0.7(2~7.1)	500	0.010	0.015
A12RS25	1/8	8.8	0.48		0.15~0.7(1.5~7.1)	600	0.015	0.018
A12RD25					0.1~0.7(1~7.1)		0.010	-
A12RD35		8.5	0.46		0.15~0.7(1.5~7.1)	500	0.012	0.036
A20RS25	1/4	17.6	0.97		0.15~0.7(1.5~7.1)	300	0.018	0.028
A20RD25					0.1~0.7(1~7.1)		0.010	-
A20RD35		15.7	0.86		0.15~0.7(1.5~7.1)	200	0.015	0.060

※ 출처 : 여기에 기계플라자 - [G048134] 반도체장비용밸브