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반도체MBE장치

여기에 2014. 12. 17. 11:45
제품코드G049013[G049013] 반도체MBE장치
판매 회사명중원통상
연락처031-458-1670
홈페이지-
제품홍보관http://blog.yeogie.com/jwcdisplay
반도체MBE장치

Microwave Ion Plasma Source and RHEED gun [ARIOS Inc. Japan]
ARIOS사는 아래와 같은 다양한 프라즈마 및 진공 응용 제품을 공급하고 있습니다
1.Plasma Source
a)Microwave Radical Source (ERMS-211Q)
b)Microwave Ion Source (EMIS-221C)
c)Microwave Ion/Radical Source (IMIS-211Q)
d)초소형 Microwave Plasma Source (SMPS-201)
e)RF Radical Source (IRFS-503)
f)RF Plasma Source (ERFS-500)
g)평면 Plasma Source
h)이그나이터

2.고주파 콤포넌트
a)1KW Microwave Power Supply (MP-102)
b)500W Microwave Power Supply (MP-102)
c)RF Power Supply (300, 500, 1000W)

3.각종장치
a)Microwave 프라즈마 실험장치
b)RF 프라즈마 실험장치
c)대기압 프라즈마 실험장치
a)고주파 다이아몬드 CVD장치
b)진공어닐장치
c)이온주입장치
d)프라즈마CVD장치
e)초진공챔버

4.계측-분석
a)랑뮈어프로브 Unit
b)Current Indicator

































[다운로드]
Arios RHEED System.pdf
Microwave Ion Source_Brochure(1)(1).pdf
Microwave Ion-Radical Source_Brochure(1)(1).pdf
Microwave Radical Source_Brochure(1)(1).pdf
RF Radical Beam Source_Brochure(1)(1).pdf


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