반도체장비

제품코드	G050025
판매 회사명	디엠에스
연락처	010-7931-2003
홈페이지	-
제품홍보관	http://blog.yeogie.com/dms21

건식 식각 장비는 반도체 웨이퍼 위에 있는 미세 회로(패턴) 가운데 불필요한 절연막 부분을 플라즈마를 이용해 제거하는 장비입니다.

Etch Rate Non-Uniformity : Minimum 1% : 99% 이상의 식각 균일도를 유지합니다.

Excellent CD Control : Under 2nm

타사 장비 대비 운영비용 절감

Fastest Recovery Time

※ 출처 : 여기에 기계플라자 - [G050025] 반도체장비