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반도체제조용 Furnace

여기에 2014. 9. 24. 17:52
제품코드G046051[G046051] 반도체제조용 Furnace
판매 회사명(주)피앤테크
연락처043-211-3917
홈페이지-
제품홍보관http://blog.yeogie.com/p-tech2000
반도체제조용 Furnace

PF-V12 Vertical Furnace System
Semiconductor Process Application - Oxidation - N2/H2 Annealing

PF-V12 Series System Features

- Wafer size : 125mm,150mm, 200mm, 300mm

-  Load Capacity : 75 Wafers
-  Thermal uniformity  accuracy :
   * Between 400℃ and 800℃ ±1℃
   * Between 800℃ and 1150℃ ±0.5℃
-  Ramp rate : 0.1~ 25℃ per minute

-  Operating temperature range : 400℃ ~ 1150℃
-  Boat  Speed : 3~125 cm / minute
-  3 or 4 Zone  by Spikes and  Profile T/C

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