목록2015/07/20 (20)
여기에 기계
제품코드G059603판매 회사명(주)아이브이티연락처053-354-2939홈페이지-제품홍보관http://blog.yeogie.com/ivt4u Available in Cylindrical, Rectangular, Spherical chamber Shapes Electro-Plated Stainless Chamber(STS304, STS316L) Available in single & multi sputter sources with water cooling system Available in high voltage power supply (3kw ~ 10kw) Substrate Rotation & Heating(100°C up to 400°C) Source size from 3” to 8”, User def..
제품코드G059602판매 회사명(주)아이브이티연락처053-354-2939홈페이지-제품홍보관http://blog.yeogie.com/ivt4u Electro-Plated Stainless Steel chamber(D-Shaped Box) 4"Diameter View Port on Front Door With Manual Shutter Single/Multi Pocket E-Beam source with Water Cooled Crucible(4cc up to 75cc) with individual shutter High Voltage Power Supply(3kw to 15kw) X-Y Beam Sweep & Controller TMP, Cryo Vacuum pumping System with Matchi..
제품코드G059601판매 회사명(주)아이브이티연락처053-354-2939홈페이지-제품홍보관http://blog.yeogie.com/ivt4u 공간 분해능이 좋기 때문에 Wafer 상의 금속 오염에 대한 mapping이 가능함. 자동화에 의한 user friendly 구조를 실현함. 소량의 chemical 사용에 의한 유지 및 관리 비용을 최소화 함. 짧은 분석 시간 및 mapping 능력으로 공정에서 발생하는 문제에 빠른 대응 또는 사전 검출을 통해 생산성 및 수율 향상에 기여할 수 있음. 분석 공정의 자동화로 인해 검사인력의 시간활용도가 극대화 된다. 분석 시료가 외부와의 접촉의 최소화되어 오염이 최소화된다. 분석효율이 증대되어 사전 불량검출이 현실화 되어 공정검사가 가능하다. 기존 장비에 비하여 구매..
제품코드G059600판매 회사명(주)아이브이티연락처053-354-2939홈페이지-제품홍보관http://blog.yeogie.com/ivt4u 반도체 산업의 고도화로 인해 최근 대부분의 반도체 공정은 진공 중에서 진행되며 공정 중에 발생하는 이상현상에 대해서는 분석하기가 상당히 어려운 것이 현실입니다. 그 중 공정기판에서 발생하는 outgas에 의한 불량은 특히 분석하기가 어렵습니다. 이 때문에 공정 중 발생하는 outgas의 정성적/정량적 분석을 통해 불량의 원인을 미리 분석하고 예방하기 위하여 본 TDS(Thermal Desorption Spectroscopy)라는 측정장비가 필요합니다. 분석 공정이 자동화 되어 사용이 편리하다. 분석 시간이 단축되어 전체 분석의 효울성이 증대된다. Buffer zon..